Using finite-difference method to calculate membrane deflection, stress distribution and pressure sensitivity of piezoresistive sensors

Proceedings of the Third International Workshop on Materials Science (IWOMS'99), Hà Nội,

(Đồng tác giả)

Fabrication of silicon piezoresistive sensor and its applications

Proceedings of the Third International Workshop on Materials Science (IWOMS'99), Hà Nội,

(Đồng tác giả)

A study of fabricating membranes with defined thickness by using four electrode electrochemical etch stop technique

Proceedings of the Third International Workshop on Materials Science (IWOMS'99), Hà Nội,

(Đồng tác giả)

Silicon michromachined piezoresistive sensor: Development and application

The Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Xiamen, China,

(Đồng tác giả)

Development of Silicon Quartz Crystal based sensors by bulk micromachining

Proceedings of the second Vietnam-Korea International Joint Symposium, Hanoi, Vietnam,

(Đồng tác giả)

Optimized silicon etching process in TMAH for MEMS fabrication

Proceedings of The first International Workshop for Computer, Information and Communication Technologies, Hanoi, Vietnam,

(Đồng tác giả)

Silicon micromachined gyroscope based on capacitive effect

Proceedings of the seventh Vietnamese-German Seminar on Physics and Engineering, Halong City,

(Đồng tác giả)

Applications of MEMS pressure Physics and Engineering in the medicine electronic devices

Proceedings of The Seventh Vietnamese-German Seminar on Physics and Engineering, Ha Long City,

(Đồng tác giả)

The MEMS - based silicon piezoresistive high-pressure sensor: fabrication and application for measuring heavy mass load

Proceedings of the Eighth German - Vietnamese Seminar on Physics and Engineering, Erlangen, Germany,

(Đồng tác giả)

A study of design of 100g MEMS-based accelerometer

Proceedings of the International Conference on Engineering Physics (ICEP2006), Hà Nội,

(Đồng tác giả)

The design for three-direction MEMS accelerometer of high sensitivity

Proceedings of the Eleventh Vietnamese-German Workshop on Physics and Engineering, Nha Trang City, Vietnam,

(Tác giả)

Phương pháp xâm thực điện hoá dừng bồn điện cực

Tạp chí Khoa học và Công nghệ,

(Đồng tác giả)

Kỹ thuật giải bài toán độ lệch màng và khảo sát một số thông số vật lý cơ bản của sensor áp suất kiểu áp trả bằng phương pháp số

Tạp chí Khoa học và Công nghệ,

(Đồng tác giả)

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trưng của cảm biến vị cơ đo lực

Tạp chí Khoa học và Công nghệ,

(Đồng tác giả)

Research on optimal silicon etching condition in TMAH solution and application for MEMS structure fabrication

Journal of Science, Mathematics - Physics, Vietnam National University, Hanoi 3,

(Tác giả)

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát thử nghiệm cảm biến rung động cấu trúc dầm treo đơn

Tạp chí Khoa học và Công nghệ,

(Tác giả)

Thiết kế mới nâng cao độ nhạy cho cảm biến áp suất MEMS kiểu áp trở dựa trên giải pháp tạo màng 4 góc mỏng

Tạp chí Khoa học,

(Tác giả)

Nghiên cứu công nghệ chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi cảm biến áp trở đo dịch chuyển

Tạp chí Khoa học và Công nghệ,

(Tác giả)

Sensor áp trở kiểu bốn điện cực và ứng dụng

Hội thảo khoa học: Đào tạo, nghiên cứu và ứng dụng về khoa học vật liệu và công nghệ vật liệu, TP. Huế,

(Đồng tác giả)

Design optimization of piezoresistive pressure sensors Physics and Engineering in Evolution

Proceedings of the Third Vietnamese-German Workshop on Physics and Engineering, Ho Chi Minh City ,

(Đồng tác giả)

Ứng dụng cảm biến áp trở Si để đo hiệu ứng từ giao

Hội nghị vật lí chất rắn toàn quốc lần thứ III, Nha Trang,

(Đồng tác giả)

Nghiên cứu chế tạo SOD pha tạp Boron làm nguồn khuếch tán bằng phương pháp sol-gel áp dụng cho việc chế tạo sensor áp suất

Hội nghị vật lí chất rắn toàn quốc lần 3, Nha Trang,

(Đồng tác giả)

Hệ đo đặc trưng vật lí của sensor vì có áp trời

Hội nghị vật lí chất rắn toàn quốc lần thứ III,, Nha Trang,

(Đồng tác giả)

Sensor vi cơ áp trở silicon và ứng dụng

Hội nghị Khoa học lần thứ 19,

(Đồng tác giả)

Nghiên cứu thiết kế sensor áp suất kiểu cầu điện trở

Hội nghị Khoa học lần thứ 19, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội,

(Đồng tác giả)

Nghiên cứu chế tạo sensor gia tốc cấu trúc dâm treo đơn

Hội nghị vật li chất rắn toàn quốc lần thứ III, Nha Trang,

(Đồng tác giả)

Fabrication and characterization of silicon micromachined piezoresistive accelerometer

Communications in Physics 4,

(Đồng tác giả)

Nghiên cứu chế tạo và khảo sát đặc trưng của vi cảm biến áp trở đo dịch chuyển

Tuyển tập Báo cáo Hội nghị Vật lý Chất rắn toàn quốc lần thứ IV,,

(Đồng tác giả)

Một số kết quả nghiên cứu chế tạo và ứng dụng sensor MEMS cơ trên cơ sở công nghệ vi cơ khối

uyển tập các báo cáo tại Hội nghị ứng dụng vật lí toàn quốc lần thứ 2, TP Hồ Chí Minh,

(Đồng tác giả)

Mô phỏng cơ tính của mảng cảm biến áp suất MEMS dựa trên phân tích giải tích và sự trợ giúp của MATLAB

Các báo cáo tại các tiểu ban Vật lí hạt nhân, Vật lí thiên văn và Vật lí địa cầu, Vật lí kĩ thuật, Giảng dạy và truyền bá Vật lí, Hà Nội,

(Đồng tác giả)

Cảm biến vận tốc góc Draper: Công nghệ chế tạo và giao diện điện tử

Kỉ yếu Hội thảo toàn quốc “Cơ học và khí cụ bay có điều khiển” lần thứ nhất, Hà Nội,

(Đồng tác giả)

Khung cấu trúc hệ thống cơ sở dữ liệu liên ngành phục vụ phát triển bền vững vùng Tây Bắc, Việt Nam

Kỉ yếu Hội thảo “Xây dựng cơ sở dữ liệu tích hợp liên ngành và phân tích chính sách phục vụ phát triển bền vững vùng Tây Bắc”,

(Đồng tác giả)